Nettoyage mégasonique Prosys

Le nettoyage mégasonique peut être utilisé pour :

  • Nettoyage des FEOL et BEOL
  • Nettoyage et polissage post CMP
  • Résines épaisses telles que les SU-8
  • Suppression de résidus de colle
  • Amélioration de process LIGA/MEMs
  • Nettoyage de panneaux solaires lors de leur fabrication
  • Nettoyage de disques durs
  • Nettoyage de pièces diverses (quartz, tissus, …)
  • Partout ou un nettoyage de qualité et un temps de cycle réduit sont souhaités

      

Qu’est ce que la Technologie Mégasonique ?

La technologie et les systèmes Mégasonique PROSYS permettent de nettoyer rapidement et avec une efficacité supérieure à 99%, les impuretés se trouvant sur des produits sensibles.

Les sondes mégasoniques PROSYS peuvent être adaptées sur des équipements de process unitaire ou sur des Wet Benches. Les solutions proposées par notre fournisseur Ultra T peuvent incorporer les sondes mégasoniques PROSYS.

Particulièrement adaptée au nettoyage des cavités dans les MEM’s, cette technologie peut aussi être utilisée pour des contaminations résistant aux process conventionnels. Le nettoyage mégasonique utilise l’effet piézo-électrique pour enlever les particules submicroniques des substrats.

Un cristal piézo-électrique est excité à haute fréquence créant ainsi une vibration. Cette vibration génère une onde  acoustique qui est transmise via un fluide de nettoyage, produisant ainsi une cavitation contrôlée. Quand l’onde passe sur la surface de l’objet, elle détache les particules du matériel en cours de traitement.

La cavitation créée un courant emportant les impuretés et évitant qu’elles ne se collent à nouveau sur le matériau en cours de nettoyage.

Les particularités et les avantages des transducteurs PROSYS

Le mode de fabrication des transducteurs, faisant l’objet de nombreux brevets, assure aux équipements PROSYS une qualité de nettoyage, une durée de vie et une fiabilité inégalées.

  • Liaison entre le résonateur et le cristal breveté (effectué sans colle).
  • Energie acoustique directement et  uniformément appliquée (prouvé par des mesures).
  • Connexions RF brevetée par des ressorts et un circuit imprimé RF (Pas de joint de soudure pouvant casser, pas de points chauds sur le cristal).
  • Le matériau du résonateur est neutre. Il n’ajoutera pas de particules au process
  • Compatible avec tout les produits chimiques (suivant les matériaux utilisés)
  • Pas de pièces mobiles
  • Pas de consommable (Meilleur fonctionnement qu’une brosse)
  • Pas de refroidissement liquide nécessaire (économie de place et facilité de mise en œuvre)
  • Moins d’énergie RF nécessaire pour un même niveau d’énergie dans le fluide de process (jusqu’à 8,3 db de différence)
  • Compatible avec des cuves existantes

MEGPIE©, WAFER UNITAIRE

Le MegPie© permet le traitement de wafers unitaires sur tout type d’équipement.
La sonde mégasonique est positionnée sur un bras possédant une possibilité de réglage en Z .
Hormis le fait de pouvoir positionner le wafer sur le chuck, il n’est pas nécessaire d’avoir un mouvement latéral du bras support de sonde.
De par sa forme « part de gâteau », le MegPie© aura une efficacité constante aussi bien au centre du wafer qu’à sa périphérie.

Les sondes mégatonniques PROSYS peuvent traiter des diamètres de tranche de silicium jusqu’à 450mm.

Le liquide de nettoyage injecté entre la surface à nettoyer et  la sole méga-sonique permet le transfert des mega sons . Cela a pour effet de réduire les quantités de produit utilisé tout en fournissant une souplesse lors de l’utilisation de l’équipement pour différents process.

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MEG-BAR, EN LIGNE SUR CONVOYEUR

Principalement orientée pour le nettoyage de cellules photovoltaïques et de pièces mécaniques, la solution « en ligne » permet un nettoyage des tout type de pièces placées sur un convoyeur.

La sonde mégasonique PROSYS peut alors être immergée ou en survol au dessus des éléments à nettoyer

BAINS, LOTS DE WAFERS EN CASSETTE

Dans cette solution, les soles mégasoniques sont positionnées en fond de cuve, les pièces ou substrats à nettoyer sont plongés verticalement dans le liquide de nettoyage.
La forme et la dimension des soles mégasoniques peuvent être adaptées à l’équipement sur lequel elles vont être intégrées.
L’intégration dans un WetBench manuel ou automatique est rendue aisée par le fait qu’il n’est pas nécessaire de prévoir un refroidissement par eau.

Le matériau de la sole mégasonique peut être adapté aux produits chimiques utilises.

Peritest est le représentant de PROSYS en France et en Europe du Sud

avantages des transducteurs PROSYS