Ultra-t Equipment conçoit et réalise des équipements de nettoyage manuels simples et doubles faces, pour l’industrie Micro-électronique et Semi-conducteur.
Un nettoyage efficace est une étape importante nécessaire dans un procédé de fabrication. Spécialisée dans le nettoyage de plaque de verre (Masques), de tranche de silicium (wafer), de cellule photovoltaïque et des substrats (verre, silice, etc…), Ultra-t Equipment se sert de technologie appropriée utilisant différents procédés tel que buse eau DI haute pression simple/double faces, buses brouillard, buse mégasoniques, nettoyage par brosse (Nylon ou PVA) avec ou sans injection de produits chimiques dilués.
SÉRIE SCSE : Nettoyage Simple Face
Les Modèles de la série SCSe offrent une solution idéale pour le nettoyage sub-micronique des photo masques, tranches de silicium (Wafer) et divers substrats (Verre, Quartz, etc..). L’équipement peut être configuré avec différentes options de nettoyage telles que la buse haute pression, la buse mégasonique, une brosse (Nylon ou PVA), des buses pour la pulvérisation de produits chimiques ou d’eau DI chauffée. On peut aussi configurer différents types de supports pour le maintien de pièces unitaires ou de plusieurs pièces en même temps. Équipement compatible (suivant le modèle) pour des substrats d’un diamètre de 300 mm jusqu’à 500 mm.
Exemple de Chuck porte substrats
Brosse d’agitation des liquides
Système de préchauffage
Vannes produits
SÉRIE DCSE : Nettoyage Double Face
Les Modèles de la série DCSe offrent une solution idéale pour le nettoyage sub-micronique double face des photo masques, tranches de silicium (Wafer) et divers substrats (Verre, Quartz, etc..). L’équipement peut être configuré avec différentes options de nettoyage telles que double buse haute pression, double buse mégasonique, double brosse (Nylon ou PVA), des buses pour la pulvérisation de produits chimiques ou d’eau DI chauffée. On peut aussi configurer différents types de supports pour le maintien de pièces unitaires ou de plusieurs pièces en même temps. Equipement compatible (suivant le modèle) pour des substrats d’un diamètre de 300 mm jusqu’à 730 mm.
Peritest est le représentant d’Ultra-t en France
